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반도체 및 디스플레이 공정 장비용 부품에 적용되는 내식성과 내플라즈마성을 제고하는 보호코팅을 위한 코팅소재의 제조 및 코팅입니다. 반도체 건식식각 장비 부품에 부식가스에 의한 식각 손상, 오염 물질 및 입자 발생을 방지하기 위하여 각각 특성과 사양에 맞는 보호코팅을 적용하고 있습니다
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